公益財団法人三豊科学技術振興協会【助成実績

精密工学会沼田記念論文賞

　毎年、前一年に“精密工学会誌”及び“International Journal of the japan Society for Precision Engineering”に掲載された計測関連分野および加工・制御関連分野で、独創性のある論文を公表した著者に対して、（社）精密工学会が贈賞するものであり、当財団は、2000年度から2009年度までの贈賞に対する助成を行った。

【2009年度（第26回）精密工学会沼田記念論文賞】2件

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究－研磨特性の検証－精密工学会誌、75巻4号	大阪大学　〃　〃デンソー大阪大学ソナック	田近　英之高谷　裕浩林　　照剛田名田祐樹小久保　研鈴木　恵友
High-accuracy displacement metrology and control using a dual Fabry-Perot cavity with an optical frequency comb generator Precision Engineering Vol.33/2	産業技術総合研究所	尾藤　洋一

大阪大学・デンソー・ソナック　「水酸化フラーレンスラリーを用いた Cu-CMP 加工法に関する研究」

産業技術総合研究所　「High-accuracy displacement metrology and control using a dual
　　　　　　　　　　　　　Fabry-Perot cavity with an optical frequency comb generator」

【2008年度（第25回）精密工学会沼田記念論文賞受賞者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
微小変位領域の摩擦特性を考慮した象限突起補償器精密工学会誌､74巻6号	東京農工大学	佐藤　隆太寺島　義道堤　　正臣

東京農工大学「微小変位領域の摩擦特性を考慮した象限突起補償器について」

【2007年度（第24回）精密工学会沼田記念論文賞受賞者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
超精密歯車測定装置の基本軸構成について精密工学会誌、73巻9号	小笠原プレシジョンラボラトリー	小笠原宏臣前田　憲次林　　　輝
超精密5軸制御加工におけるセッティング誤差の一般化補正法精密工学会誌、73巻10号	大阪大学大阪大学室蘭工業大学大阪大学大阪大学	園　　　真石田　　徹寺本　孝司榎本　俊之竹内　芳美
濡れ性パターンを用いた微粒子の自己整列（第1報）－手法の提案と整列条件の検討－精密工学会誌、72巻9号	首都大学東京オリンパス首都大学東京	諸貫　信行小木曽淳一金子　　新
超精密直径測定器の開発精密工学会誌、72巻9号	ミツトヨ	萩原　誠一眞分　幸雄境　　久嘉茂呂澤孝治山本　英樹神永　哲也

小笠原プレシジョンラボラトリー　「超精密歯車測定装置の基本軸構成について」

大阪大学・室蘭工業大学
「超精密5軸制御加工におけるセッティング誤差の一般化補正法」

首都大学東京・オリンパス　「濡れ性パターンを用いた微粒子の自己整列（第1報）」

ミツトヨ　「超精密直径測定器の開発」

【2005年度（第23回）精密工学会沼田記念論文賞受賞者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
空気静圧ジャーナル軸受における空気膜温度と熱配分割合	青山学院大学	大石　　進松崎　　靖（現アイ･テイ･フロンティア）
光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術（第1報） ―単層膜を用いた共振波計測と粗面の高周波非接触振動計測技術―	香川大学	奥田　貴啓石丸伊知郎藤井　義樹筒井　宏光（(株)大王製紙）小林　宏明（(株)ミツトヨ）

青山学院大学　「空気静圧ジャーナル軸受における空気膜温度と熱配分割合」

香川大学　「光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術（第1報）」

【2004年度（第22回）精密工学会沼田記念論文賞受賞者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
DNAを用いた微小粒子のナノ位置決め（第１報）－基本原理の提案と実験的検証－精密工学会誌　（70巻6号）	東京工業大学	初澤　　毅森　　寛光栁田　保子
Optical 3D profilometer for in-process measurement of microsurface based on phase retrieval technique PE誌　（Vol.28,No.2）	大阪大学	田口　敦清三好　隆志高谷　裕浩高橋　　哲 ※現・東京大学

東京工業大学　「DNAを用いた微小粒子のナノ位置決め（第1報）」

大阪大学　「Optical 3D profilometer for in-process measurement of
　　　　　　　　　　　　　　　　　microsurface based on phase retrieval technique」

【2003年度（第21回）精密工学会沼田記念論文賞対象テーマ及び研究者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
5軸制御マシニングセンタのキャリブレーション方法に関する研究（第2報）－同時3軸運動制御を用いた位置偏差および角度偏差の推定－精密工学会誌　（69巻2号）	東京農工大学	斎藤　明徳 ※現松江高専堤　　正臣牛久健太郎
大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長(第1報)－エピタキシャルSi成長条件の検討－精密工学会誌　（69巻6号）＜加工部門＞	大阪大学	森　　勇蔵芳井　熊安安武　　潔垣内　弘章大参　宏昌和田　勝男

東京農工大学　「5軸制御マシニングセンタのキャリブレーション方法に関する研究」

大阪大学　「大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長」

【2002年度（第20回）精密工学会沼田記念論文賞対象テーマ及び研究者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究精密工学会誌　（68巻1号）＜計測部門＞	東北大学ニコン東北大学東北大学	高　　　緯星野　　唯清水　裕樹清野　　慧
揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発（第1報）-装置構造と基本研磨特性- 精密工学会誌　（68巻3号）＜加工部門＞	防衛大学校元防衛大学校防衛大学校	宇根　篤暢大保　誠司餅田　正秋

【2001年度（第19回）精密工学会沼田記念論文賞対象テーマ及び研究者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
ロータリーエンコーダの高精度校正装置の開発（第1報）-校正システムと基礎実験- 精密工学会誌　（67巻7号）	産業技術研究所静岡理工科大学電気通信大学産業技術研究所産業技術研究所	渡部　　司益田　　正梶谷　　誠藤本　弘之中山　　貫
静圧案内面を運動縮小機構として利用した超精密位置決めシステムの揮発精密工学会誌　（67巻9号）	鳥取大学不二越不二越鳥取大学	水本　　洋藪谷　　誠上　　芳啓有井　士郎

【2000年度（第18回）精密工学会沼田記念論文賞対象テーマ及び研究者】

表　　題（掲載誌・巻号）	所　属	著者名
EOプローブを用いた非接触LSIパッケージはんだ接続検査方法の開発精密工学会誌　（66巻10号）	日本電気日本電気日本電気	興島　政幸久住　　肇西山　　毅